[发明专利]一种新型的芯片定位装置在审
| 申请号： | 201810920432.2 | 申请日： | 2018-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN109037133A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 陈志冰;孙佳威;傅东文 | 申请（专利权）人： | 广州晶睿达科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 510700 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型的芯片定位装置，包括：基座，其设置有至少一用于吸附芯片的中空轴；至少一定位夹具，其包括可活动的、设置在所述基座顶部的第一夹臂和第二夹臂，且第一夹臂和第二夹臂两者相对的立面上分别设置有定位槽；初始时，中空轴吸附芯片并置于两个定位槽之间；所述第一夹臂和第二夹臂两者相对地运动，使两个定位槽同时夹持芯片,带动芯片旋转定位。通过机械结构实现机械定位，其重复定位精度达到μ级，满足各类芯片的定位旋转，定位简单，成本低，最大的提高烧录机的工作效率。完全可取代现有的烧录机的定位机构及优化搬运臂。 | ||
| 搜索关键词： | 夹臂 芯片 定位槽 芯片定位装置 烧录机 中空轴 吸附 夹具 定位机构 定位旋转 工作效率 基座顶部 机械定位 机械结构 旋转定位 重复定位 搬运臂 可活动 夹持 优化 | ||
【主权项】：
1.一种新型的芯片定位装置，其特征在于，包括：基座，其设置有至少一用于吸附芯片的中空轴；至少一定位夹具，其包括可活动的、设置在所述基座顶部的第一夹臂和第二夹臂，且第一夹臂和第二夹臂两者相对的立面上分别设置有定位槽；初始时，中空轴吸附芯片并置于两个定位槽之间；所述第一夹臂和第二夹臂两者相对地运动，使两个定位槽同时夹持芯片,带动芯片旋转定位。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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