[发明专利]硅固液分离去除金属杂质的方法及凝固坩埚在审

专利信息
申请号: 201810929048.9 申请日: 2018-08-15
公开(公告)号: CN109052405A 公开(公告)日: 2018-12-21
发明(设计)人: 潘友赫;石爽;任世强;王凯 申请(专利权)人: 大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037
代理公司: 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 代理人: 巩同海
地址: 266234 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明硅固液分离去除金属杂质的方法及凝固坩埚,属于多晶硅提纯技术领域。本发明涉及的电子束凝固坩埚,包括倒圆台形坩埚和倾倒口,所述倾倒口位于倒圆台形坩埚的顶部一侧,倾倒口外延形成硅液收集平台,所述硅液收集平台近倒圆台形。利用凝固坩埚实现硅固液分离去除金属杂质的方法,将凝固坩埚向倾倒口一侧倾斜,使顶部尚未凝固的硅液倾倒进入废液坩埚中,并留有少量硅液残留在平台所在的凸出部分,通过倾斜凝固坩埚将该部分硅液倾倒进入废液坩埚中,实现高浓度杂质的硅液与已提纯的硅晶体分离;同时,凝固坩埚中残留的少量硅液可以流动到倾倒口处平台中凝固,实现硅液和硅晶体的完全分离。
搜索关键词: 硅液 凝固坩埚 倾倒口 固液分离 金属杂质 去除 倒圆台形坩埚 废液坩埚 硅晶体 倾倒 凝固 电子束 残留 高浓度杂质 倒圆台形 提纯技术 完全分离 凸出 多晶硅 提纯 流动
【主权项】:
1.一种电子束凝固坩埚,其特征在于:包括倒圆台形坩埚和倾倒口(5),所述倾倒口(5)位于倒圆台形坩埚的顶部一侧,倾倒口(5)外延形成硅液收集平台(6),所述硅液收集平台(6)近倒圆台形。
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