[发明专利]一种半导体基板进料的自动搬运设备

摘要

本发明公开了一种半导体基板进料的自动搬运设备，包括立柱，所述立柱一侧设有横杆，所述横杆一侧设有第一弹簧，所述第一弹簧一端与横杆固定连接，所述第一弹簧另一端设有平衡板，所述平衡板一侧设有固定块，所述固定块一侧设有吸盘，所述吸盘两侧均设有第二弹簧，所述第二弹簧一端与吸盘固定连接，所述第二弹簧另一端与平衡板固定连接。本发明通过吸盘一侧设有第二弹簧，伸长电动伸缩杆，同时步进电机工作带动齿轮盘转动，齿轮盘转动带动连接件转动，连接件转动带动立柱往一侧运动，当立柱一侧吸盘接触到基板时，由于相互作用力的存在，吸盘往一侧运动带动第二弹簧压缩，第二弹簧恢复形变使吸盘表面紧贴在基板表面。

主权项

1.一种半导体基板进料的自动搬运设备，包括立柱（1），其特征在于：所述立柱（1）一侧设有横杆（2），所述横杆（2）一侧设有第一弹簧（3），所述第一弹簧（3）一端与横杆（2）固定连接，所述第一弹簧（3）另一端设有平衡板（4），所述平衡板（4）一侧设有固定块（5），所述固定块（5）一侧设有吸盘（6），所述吸盘（6）两侧均设有第二弹簧（7），所述第二弹簧（7）一端与吸盘（6）固定连接，所述第二弹簧（7）另一端与平衡板（4）固定连接，所述吸盘（6）一侧设有通气管（8），所述立柱（1）一侧设有连接件（9），所述连接件（9）一端与立柱（1）固定连接，所述连接件（9）另一端设有齿轮盘（10），所述齿轮盘（10）一侧设有步进电机（11），所述步进电机（11）输出端与齿轮盘（10）相适配，所述连接件（9）一侧设有电动伸缩杆（12），所述电动伸缩杆（12）一端与立柱（1）铰接，所述电动伸缩杆（12）底端与连接件（9）铰接。