[发明专利]断面倾斜角检测装置

摘要

本发明提供一种断面倾斜角检测装置，该装置通过发送检测光线并探测穿过待检测器件后检测光线的光强度值，进而得到断面倾斜角在接触面上的投影长度值，最后根据投影长度值以及材料层厚度确定断面倾斜角的角度值；在该过程中，仅需发送检测光线并仅需光强度值的探测以及计算即可得到断面倾斜角的角度值，不需要对器件进行裂片和制样等操作，解决了现有断面倾斜角检测技术需要裂片和制样等操作的技术问题。

主权项

1.一种断面倾斜角检测装置，其特征在于，包括：固定平台，用于固定待检测器件；所述待检测器件包括第一材料层以及第二材料层，所述第二材料层与所述第一材料层通过接触面接触，所述第二材料层的断面与所述接触面形成所述第二材料层的断面倾斜角；信号源，用于向预设方向发送检测光线；所述预设方向穿过所述待检测器件的第一材料层以及第二材料层；探测器，用于在探测点上，探测穿过所述待检测器件后检测光线的光强度值；控制器，用于根据所述探测器的探测结果，确定所述断面在所述接触面上的投影长度值；并根据所述投影长度值以及所述第二材料层的材料层厚度，确定所述断面倾斜角的角度值。