[发明专利]辉光放电系统、其离子引出构造及辉光放电质谱装置在审
| 申请号： | 201810955915.6 | 申请日： | 2018-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN109192650A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 高桥孝广 | 申请（专利权）人： | 辉光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;H01J49/10 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供辉光放电系统、其离子引出构造及辉光放电质谱装置。提供一种不大幅地改变以往的辉光放电系统的装置结构、驱动条件，就使所引出的离子束流强增大，并且分析精度更高的辉光放电质谱装置。利用第1板(26)和第2板(28)形成提取板(25)，上述第1板(26)配置在放电区域(27)侧，并在开口部(25a)具有朝向放电区域(27)突出的突出部(26a)，上述第2板(28)在外周缘处连接于该第1板(26)，并且在开口部(25a)侧与该第1板(26)隔着间隙配置，上述提取板(25)配置于放电单元(20)的离子引出口，作为引出电极发挥作用。 | ||
| 搜索关键词： | 辉光放电质谱 辉光放电 离子 放电区域 开口部 提取板 放电单元 间隙配置 离子束流 驱动条件 引出电极 装置结构 突出部 外周缘 引出口 配置 分析 | ||
【主权项】：
1.一种辉光放电系统的离子引出构造，该辉光放电系统用在辉光放电质谱装置中，该辉光放电系统具有导电性的单元主体和导电性的提取板，所述单元主体形成放电区域，所述提取板至少隔着绝缘构件与所述单元主体连接，并且具有离子引出口，该辉光放电系统的离子引出构造的特征在于，所述提取板包括在外周缘处彼此连接在一起的第1板和第2板，所述第1板配置在所述放电区域侧，具有自所述离子引出口朝向所述放电区域呈筒状突出的突出部，所述第1板和所述第2板中的任一者在所述外周缘处朝向另一者突出，在除所述外周缘以外的区域，所述第1板和所述第2板彼此隔着间隙地配置。
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