[发明专利]一种CMP离散数据曲面重构方法及装置有效
| 申请号： | 201810959807.6 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN110858413B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 徐勤志;杨飞;陈岚;曹鹤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G06T17/20 | 分类号： | G06T17/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 100029 北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种CMP离散数据曲面重构方法及装置，包括根据获得的初始CMP离散数据，生成离散数据重构的初始计算网格，并确定坐标平面；对坐标平面确定的构造点的邻域和外围区域进行初始赋值，获得构造点的初始函数值；依据离散数据的基准点的坐标位置和构造点的初始函数值，对离散数据进行连续延拓和修正处理，获得离散数据对应的初始重构二维曲面；对初始重构二维曲面进行光滑处理，获得光滑重构曲面；对光滑重构曲面进行插值处理，获得初始目标曲面；采用直角坐标表示初始目标曲面，获得离散数据对应的目标重构曲面。本发明可实现缩短CMP建模周期及提高建模效率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cmp 离散 数据 曲面 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810959807.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种节能磨矿装置
- 下一篇：业务请求处理方法、装置及计算机可读存储介质
- 数据显示系统、数据中继设备、数据中继方法、数据系统、接收设备和数据读取方法
- 数据记录方法、数据记录装置、数据记录媒体、数据重播方法和数据重播装置
- 数据发送方法、数据发送系统、数据发送装置以及数据结构
- 数据显示系统、数据中继设备、数据中继方法及数据系统
- 数据嵌入装置、数据嵌入方法、数据提取装置及数据提取方法
- 数据管理装置、数据编辑装置、数据阅览装置、数据管理方法、数据编辑方法以及数据阅览方法
- 数据发送和数据接收设备、数据发送和数据接收方法
- 数据发送装置、数据接收装置、数据收发系统、数据发送方法、数据接收方法和数据收发方法
- 数据发送方法、数据再现方法、数据发送装置及数据再现装置
- 数据发送方法、数据再现方法、数据发送装置及数据再现装置
