[发明专利]自动化抛光装置及其工作方法在审
| 申请号： | 201810965531.2 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN110856905A | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;丁向前 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/02;B24B41/00;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 237400 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种自动化抛光装置及其工作方法，其中，自动化抛光装置包括：基座，用于承载靶材；位于基座上的抛光头，用于沿第一方向抛光所述靶材，所述抛光头沿第一方向对靶材一次抛光第一宽度，所述抛光头还可沿第二方向运动，所述第二方向与第一方向相互垂直；当抛光头沿第一方向对靶材抛光结束时，发射单元，使抛光头沿第二方向运动第一距离，所述第一距离小于或者等于第一宽度。利用所述自动化抛光装置能够实现对大尺寸靶材表面的抛光，且抛光程度一致性较高。 | ||
| 搜索关键词： | 自动化 抛光 装置 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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