[发明专利]测定装置、测定方法以及等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201810969328.2 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN109427531B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 佐藤雅纪;樫村龙成;纲本哲;大崎良规;荒金俊行 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种能够简易地进行等离子体的自偏压(V |
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| 搜索关键词： | 测定 装置 方法 以及 等离子体 处理 | ||
【主权项】：
1.一种测定装置，具有：切换部，其对配置在等离子体处理装置内的静电卡盘内且被施加直流电压的电极的连接进行切换；具有静电电容的构件，其与所述切换部连接；以及测定部，其测定与所述具有静电电容的构件中蓄积的电荷量相当的值。
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