[发明专利]一种酸性蚀刻液循环再生系统及其方法在审
| 申请号： | 201810972330.5 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN109023374A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 罗万里 | 申请（专利权）人： | 德雅（深圳）环境科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C25C1/12;C25C7/04;C25C7/06;C25C7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种酸性蚀刻液循环再生方法，包括以下步骤：(1)预制酸性蚀刻液循环再生系统；(2)由蚀刻生产线产生的蚀刻废液储存于废液桶中，废液桶中的蚀刻废液通过自动检测添加方式添加至离子膜电解循环装置中；(3)由离子膜电解循环装置对蚀刻废液进行电解产生再生液与单质铜，再生液储存于再生液桶中，单质铜由铜板的形式移出；(4)分别将氧化剂、盐酸、及储存于再生液桶中的再生液加入到再生液调配监控装置中，由再生液调配监控装置中的若干检测仪对再生液进行检测调配，使再生液的氧化还原电位范围在480‑520mv之间，铜浓度在30‑60g/L范围内，再将再生液回流至蚀刻生产线中使用。本发明还公开了实施上述方法的酸性蚀刻液循环再生系统。 | ||
| 搜索关键词： | 再生液 酸性蚀刻液 循环再生系统 蚀刻废液 蚀刻 离子膜电解 调配 监控装置 循环装置 再生液桶 单质铜 废液桶 储存 氧化还原电位 氧化剂 再生液回流 循环再生 自动检测 检测仪 铜板 电解 盐酸 移出 预制 检测 | ||
【主权项】：
1.一种酸性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)预制一酸性蚀刻液循环再生系统，其包括一废液桶、一再生液桶、一离子膜电解循环装置与一再生液调配监控装置，其中，该废液桶分别连接至离子膜电解循环装置与至少一蚀刻生产线，该再生液桶分别连接至离子膜电解循环装置与再生液调配监控装置，该再生液调配监控装置连接至至少一蚀刻生产线，以形成闭路循环系统；(2)由蚀刻生产线产生的蚀刻废液储存于废液桶中，废液桶中的蚀刻废液通过自动检测添加方式添加至离子膜电解循环装置中；(3)由离子膜电解循环装置对蚀刻废液进行电解产生再生液与单质铜，再生液储存于再生液桶中，单质铜由铜板的形式移出；(4)分别将氧化剂、盐酸、及储存于再生液桶中的再生液加入到再生液调配监控装置中，由再生液调配监控装置中的若干检测仪对再生液进行检测调配，使再生液的氧化还原电位范围在480‑520mv之间，铜浓度在30‑60g/L范围内，再将再生液回流至蚀刻生产线中使用。
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