[发明专利]金属膜蚀刻液组合物及利用其的导电图案形成方法有效
| 申请号： | 201810975544.8 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN109423647B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 沈庆辅;金童基;南基龙 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/30;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;宋海花 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属膜蚀刻液组合物及利用其的导电图案形成方法，该金属膜蚀刻液组合物包含蚀刻引发剂、无机酸、有机酸、有机盐以及余量的水，且在常温下，粘度为1～3.3cp。通过使用金属膜蚀刻液组合物，能够形成蚀刻不良减少且具有提高了的均匀性的微细尺寸的导电图案。 | ||
| 搜索关键词： | 金属膜 蚀刻 组合 利用 导电 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金属膜蚀刻液组合物，其包含蚀刻引发剂、无机酸、有机酸、有机盐以及余量的水，且在常温下，粘度为1～3.3cp。
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