[发明专利]一种高纯氧化铝多晶料中痕量杂质元素的测定方法在审
| 申请号： | 201810981555.7 | 申请日： | 2018-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN109239179A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 肖丽梅;马冰;白永冰;王秀娟;张丽娟 | 申请（专利权）人： | 新疆众和股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/68 | 分类号： | G01N27/68;H01J49/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 830000 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明为一种高纯氧化铝多晶料中痕量杂质元素的测定方法。一种高纯氧化铝多晶料中杂质元素的测定方法，包括：(1)将块状高纯氧化铝多晶料试样破碎成多晶颗粒；(2)取多晶颗粒置于两块高纯钽片之间，加压，镶嵌至高纯钽片的表面；(3)将高纯钽片放入GD‑MS样品夹具中，镶嵌有高纯氧化铝多晶料的一面为检测面；(4)离子源抽真空，在脉冲模式下调节放电电压和放电电流；(5)在步骤(4)设定的条件下进行脉冲辉光放电质谱仪分析，采集待测元素的信号强度，计算出待测杂质元素的质量分数。该测定方法，避免了由于氧化铝多晶样品不规则或表面粗糙程度对放电及检测结果的影响，可直接用于高纯度氧化铝多晶料的杂质测定。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶料 高纯氧化铝 高纯钽 多晶 痕量杂质元素 杂质元素 镶嵌 辉光放电质谱仪 高纯度氧化铝 放电电流 放电电压 检测结果 脉冲模式 样品夹具 杂质测定 质量分数 不规则 抽真空 检测面 离子源 氧化铝 放电 脉冲 放入 加压 破碎 采集 分析 | ||
【主权项】：
1.一种高纯氧化铝多晶料中杂质元素的测定方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将待测的块状高纯氧化铝多晶料试样破碎，加工成多晶颗粒；(2)取一粒多晶颗粒置于两块高纯钽片之间，加压，使多晶颗粒镶嵌至高纯钽片的表面；(3)将镶嵌多晶颗粒的高纯钽片放入GD‑MS样品夹具中，镶嵌有高纯氧化铝多晶料的一面为检测面，并且使镶嵌有多晶料的部位位于激发孔的正中心；(4)离子源抽真空，在脉冲模式下调节放电电压和放电电流，放电电压为0.8‑1.2kV，脉冲时间为40‑100μs，放电气体流量为350‑750mL/min；通过离子源调谐将中分辨率大于3800，高分辨大于8000；(5)在步骤(4)设定的条件下进行脉冲辉光放电质谱仪分析，采集待测元素的信号强度，计算出待测杂质元素的质量分数。
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