[发明专利]喷嘴和化学液槽装置有效
| 申请号： | 201810990145.9 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN108906351B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 徐融;孙文斌;苏界;杨永刚;蒋阳波;廖昌洋 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B05B1/14 | 分类号： | B05B1/14;B05B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 董琳 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种喷嘴和化学液槽装置，所述喷嘴包括：喷嘴体；套于所述喷嘴体外部的套管，所述套管上具有至少两个朝向不同方向的喷孔。喷嘴在喷液过程中，可以具有多种喷液方向。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 化学 装置 | ||
【主权项】：
1.一种喷嘴，其特征在于，包括：喷嘴体；套于所述喷嘴体外部的套管，所述套管上具有至少两个朝向不同方向的喷孔。
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