[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置有效
申请号: | 201810991653.9 | 申请日: | 2018-08-28 |
公开(公告)号: | CN109428564B | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 三村昌和;岸本谕卓 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 朴云龙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种能够增大主模式的频率与产生杂散的频率之差的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:支承基板(2);声反射层(3),具有声阻抗相对低的多个低声阻抗层(4a~4d)和声阻抗相对高的多个高声阻抗层(5a~5c),且设置在支承基板(2)上;压电体层(6),设置在声反射层(3)上;以及IDT电极(7),设置在压电体层(6)上。声反射层(3)中的各层的膜厚的关系为如下关系中的至少一种关系:位于最靠压电体层(6)侧的低声阻抗层(4a)的膜厚比其它所有的低声阻抗层(4b~4d)的膜厚薄;以及位于最靠压电体层(6)侧的高声阻抗层(5a)的膜厚比其它所有的高声阻抗层(5b、5c)的膜厚薄。 | ||
搜索关键词: | 弹性 装置 高频 前端 电路 以及 通信 | ||
【主权项】:
1.一种弹性波装置,具备:支承基板;声反射层,具有声阻抗相对低的至少三层以上的低声阻抗层和声阻抗相对高的至少两层以上的高声阻抗层,且设置在所述支承基板上;压电体层,设置在所述声反射层上;以及IDT电极,设置在所述压电体层上,所述低声阻抗层和所述高声阻抗层交替地层叠,所述声反射层中的各层的膜厚的关系为如下关系中的至少一种关系:位于最靠所述压电体层侧的所述低声阻抗层的膜厚比其它所有的所述低声阻抗层的膜厚薄;以及位于最靠所述压电体层侧的所述高声阻抗层的膜厚比其它所有的所述高声阻抗层的膜厚薄。
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