[发明专利]偏振非制冷红外焦平面探测器

摘要

本申请提供一种偏振非制冷红外探测器，包括：阵列排列的多个探测器像元，所述探测器像元包括：包含读出电路的硅基片和所述硅基片之上的微桥结构，其中相邻两行两列的四个所述探测器像元为一个像元组，每个所述像元组中的多个所述探测器像元的偏振结构的设计相同，相互之间通过旋转得到。本申请的技术方案，在非制冷红外焦平面上的探测器像元的微桥结构上集成偏振结构，整个焦平面由多行多列探测器像元构成，每两行两列探测器像元为一个像元组，每个像元组中的多个探测器像元的偏振结构的设计相同，每个像元组中的多个探测器像元的偏振结构通过旋转得到，在进行不同偏振方向的偏振光强度相减扣除时，背景强度相互抵消，实现尽可能均匀的消光比。

主权项

1.一种偏振非制冷红外探测器，其中，包括：阵列排列的多个探测器像元，所述探测器像元包括：包含读出电路的硅基片和所述硅基片之上的微桥结构，所述硅基片上设有电极与金属反射层，所述第一介质保护层覆盖所述金属反射层与所述电极，并开有第一通孔以露出所述电极，所述读出电路与所述电极电连接，所述微桥结构包括桥面和桥墩，其中，所述桥面从下到上依次包括支撑层、热敏电阻层、第二介质保护层、导电层、第三介质保护层、红外吸收层、第四介质保护层和偏振结构，所述偏振结构包括若干个依次平行排列的金属线条，所述桥墩从下到上依次包括支撑层、导电层和第三介质保护层，其中，所述支撑层在所述桥墩处开有第二通孔，所述第二通孔终止于所述电极，所述导电层通过所述第二通孔与所述电极电连接，所述第二介质保护层上开有第三通孔，所述第三通孔终止于所述热敏电阻层，所述热敏电阻层通过所述第三通孔与所述导电层电连接；其中相邻两行两列的四个所述探测器像元为一个像元组，每个所述像元组中的多个所述探测器像元的偏振结构的设计相同，相互之间通过旋转得到。