[发明专利]游星轮与抛光方法在审
| 申请号： | 201810997467.6 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110871399A | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 王乐军;宋士佳;李琳琳;彭东阳;刘桂勇;姜宏 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/08 | 分类号： | B24B37/08;B24B37/28;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;谢湘宁 |
| 地址： | 102209 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种游星轮与抛光方法。该游星轮不具有通孔且不具有凹槽，游星轮侧面具有多个周向排列的齿轮。的游星轮不具有放置晶片或者固定基板的凹槽或者通孔，将其应用在双面抛光机中，对只需要单面抛光的晶片进行抛光时，晶片的需要抛光的表面裸露，不需要抛光的表面设置在游星轮的表面上，被游星轮保护，这样既能使得需要抛光的表面可以利用双面抛光机的一个抛光盘进行抛光，进一步保证了该表面抛光后的粗糙度以及TTV均能满足要求，同时也能保证不需要抛光的表面没有被损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 游星 抛光 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东泰高科装备科技（北京）有限公司，未经东泰高科装备科技（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810997467.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种燃烧器
- 下一篇：一种基于气缸的笔记本配件切料装置
