[发明专利]一种真空磁控溅射用新型平面阴极

摘要

本发明公开了一种真空磁控溅射用新型平面阴极，包括阴极罩，所述阴极罩的内部中间设有防护基座，所述阴极罩的下表面通过螺栓连接的方式连接有铜背板，铜背板的上表面与防护基座之间均匀连接有固定磁铁和电磁板，通过抽水泵可以将冷却液盛放箱中的冷却液抽取到冷却管路内，通过冷却管路可以对靶材和阴极罩的内部进行散热，通过散热管可以对吸热后的冷却液进行散热，并且通过抽气泵可以将气体抽取到冷凝器的内部，通过变阻器可以对电磁板磁力的大小进行调节，本真空磁控溅射用新型平面阴极结构简单，操作简便，不但使得对装置安装更加方便，而且使得冷却效果更好，并且可以对磁力大小调节更加方便。

主权项

1.一种真空磁控溅射用新型平面阴极，包括阴极罩(6)，其特征在于：所述阴极罩(6)的内部中间设有防护基座(14)，所述阴极罩(6)的下表面通过螺栓连接的方式连接有铜背板(4)，铜背板(4)的上表面与防护基座(14)之间均匀连接有固定磁铁(12)和电磁板(9)，铜背板(4)的内部设有冷却管路(11)，所述铜背板(4)的下表面设有凹槽，该凹槽的内部设有靶材(10)，所述防护基座(14)的上表面设有冷却液盛放箱(15)和变阻器(18)，变阻器(18)的输出端电连接电磁板(9)的输入端，所述阴极罩(6)的上表面设有上端连接板(8)，上端连接板(8)的上表面设有抽气泵(1)和冷凝器(7)，所述抽气泵(1)的出气口通过导管与冷凝器(7)的进气口连接，冷凝器(7)的出气口通过导管与连接外壳(2)的进气口连接，连接外壳(2)的内部设有散热管(3)，散热管(3)的进水口通过导管与冷却管路(11)，阴极罩(6)的一侧通过螺栓连接有抽水泵(16)，抽水泵(16)的进水口通过导管与冷却液盛放箱(15)的一侧下端连接，冷却液盛放箱(15)的上端进水口通过导管与散热管(3)的出水口连接，所述抽水泵(16)的出水口通过导管与冷却管路(11)的进水口连接，所述上端连接板(8)的上表面设有PLC控制器(17)，PLC控制器(17)的输入端电连接外部电源的输出端，PLC控制器(17)的输出端电连接抽水泵(16)、冷凝器(7)和变阻器(18)的输入端。