[发明专利]静电吸盘、成膜装置、基板的吸附方法、成膜方法以及电子设备的制造方法有效
| 申请号： | 201811010072.9 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109972085B | 公开（公告）日： | 2023-05-19 |
| 发明（设计）人： | 柏仓一史;石井博;元矢秀和 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社;株式会社沙迪克 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50;C23C14/24;H01L21/683;H10K71/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘日华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的静电吸盘，包括具有电极部的静电吸盘板状件部，所述电极部包括交替配置有分别施加不同极性的电压的电极的部分，所述交替配置的部分的至少一部分，以与进行基板向所述静电吸盘板状件部的吸附的第一方向交叉的方式延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸盘 装置 吸附 方法 以及 电子设备 制造 | ||
【主权项】：
1.一种静电吸盘，用于吸附并保持基板，其中，包括具有电极部的静电吸盘板状件部，所述电极部包括交替配置有分别施加不同极性的电压的电极的部分，所述交替配置的部分的至少一部分，以与进行基板向所述静电吸盘板状件部的吸附的第一方向交叉的方式延伸。
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