[发明专利]晶圆进出料装置和集成电路用晶圆贴标签设备

摘要

本发明涉及集成电路技术领域。晶圆进出料装置，包括升降支座、第一移动线轨组件、第一丝杠螺母座、第一立式轴承、第一丝杠、同步带轮、第二电机、晶圆置料架和调节夹紧组件。该晶圆进出料装置的优点是采用升降晶圆置料架使得晶圆工作容量大大提高，抽拉式上下料简便快捷，加工效率高。

主权项

1.晶圆进出料装置，其特征在于包括升降支座（21）、第一移动线轨组件（22）、第一丝杠螺母座（23）、第一立式轴承（24）、第一丝杠（25）、同步带轮（26）、第二电机（27）、晶圆置料架（28）和调节夹紧组件（29）；第一移动线轨组件（22）包括通过移动副连接的滑轨和滑座；第一丝杠螺母座（23）与第一丝杠（25）形成丝杠螺母副配合连接，第一丝杠螺母座（23）与升降支座（21）固定连接；两个同步带轮（26）分别安装在第一丝杠（25）和第二电机（27）输出端上；晶圆置料架（28）为前后两端贯通的方盒形，晶圆置料架（28）左右内壁上设置有用于分层放置晶圆的多个水平凹槽（281），多个水平凹槽上下等距规则排列；调节夹紧组件（29）安装在升降支座（21）上，晶圆置料架（28）通过调节夹紧组件（29）连接在升降支座（21）上；调节夹紧组件（29）包括第二丝杠（291）、夹板（292）、第二丝杠螺母（293）和调节旋钮（294）；第二丝杠（291）通过第二立式轴承（295）安装在升降支座（21）上，第二丝杠（291）两侧丝杆旋向相反；调节旋钮（294）固定安装在第二丝杠（291）一端；第二丝杠螺母（293）对应配合连接在第二丝杠（291）上，第二丝杠螺母（293）与夹板（292）固定连接，夹板（292）位于升降支座（21）的槽中，夹板（292）上端横直段用于夹紧晶圆置料架（28）。