[发明专利]等离子体探测装置和等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201811030301.3 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN109427523B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 池田太郎;小松智仁;长田勇辉;宫下大幸;齐藤进;古木和弘;佐藤干夫;镰田英纪 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体探测装置，其包括：天线部，其隔着将真空空间与大气空间之间密封的密封部件安装于开口部中，其中，上述开口部形成在处理容器的壁部或载置台；与上述天线部连接的电极；和由电介质形成的对上述天线部从周围进行支承的电介质支承部，上述天线部与上述壁部或上述载置台的相对面以规定的距离隔开间隔，上述天线部的从上述开口部露出的面，与形成有该开口部的上述壁部或上述载置台的等离子体生成空间侧的面相比凹入到内侧。由此，能够提供避免气体侵入的等离子体探测装置。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 探测 装置 处理 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体探测装置，其特征在于，包括：天线部，其隔着将真空空间与大气空间之间密封的密封部件安装于开口部中，其中，所述开口部形成在处理容器的壁部或载置台；与所述天线部连接的电极；和由电介质形成的对所述天线部从周围进行支承的电介质支承部，所述天线部与所述壁部或所述载置台的相对面以规定的距离隔开间隔，所述天线部的从所述开口部露出的面，与形成有该开口部的所述壁部或所述载置台的等离子体生成空间侧的面相比凹入到内侧。
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