[发明专利]检查装置在审
| 申请号： | 201811034841.9 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN109471181A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 加集功士;屋铺大三郎 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G01V3/12 | 分类号： | G01V3/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供能够高精度且高速地进行对象物的检查的检测装置。检测装置具备电磁波接收区域，电磁波接收区域分别具有在圆形外形面的俯视观察下在圆形的直径上并排设置的m个小区域。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁波接收 检测装置 并排设置 俯视观察 检查装置 圆形外形 对象物 小区域 检查 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，其一边使具有外形为圆形的面即圆形外形面的对象物以穿过该圆形的中心且沿与该圆形外形面大致垂直的方向延伸的线为轴进行旋转，一边对该对象物进行检查，所述检查装置的特征在于，针对用来检查的状态的所述对象物，将以下的m、n分别设为2以上的自然数，所述检查装置具备：向所述对象物照射通过所述圆形外形面的电磁波的至少一个电磁波产生源；以及接收透过了所述对象物的所述电磁波的n个电磁波接收区域，所述n个电磁波接收区域分别具有m个小区域，m×n个所述小区域分别以满足下述(1)以及(2)中的任一个的方式配置，(1)在所述n个电磁波接收区域的各自中，在所述圆形外形面的俯视观察下在所述圆形的直径上并排设置，(2)相对于所述(1)，成为距所述圆形的中心的分开距离彼此相同的n个所述小区域的组中的至少一组以所述线为轴而旋转了的配置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友化学株式会社，未经住友化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811034841.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
