[发明专利]单面生长石英晶体及其生长方法在审
申请号: | 201811039563.6 | 申请日: | 2018-09-06 |
公开(公告)号: | CN109112629A | 公开(公告)日: | 2019-01-01 |
发明(设计)人: | 刘盛浦;郭兴忠;吴兰 | 申请(专利权)人: | 浙江博达光电有限公司 |
主分类号: | C30B29/18 | 分类号: | C30B29/18;C30B7/10 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 金祺 |
地址: | 311305 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种单面生长石英晶体的生长方法,令石英晶体只在籽晶片的光轴面生长,同时限制了石英晶体的正电轴方向的生长;本发明通过人为限制石英晶体生长方向,改变高压釜内溶液与石英晶体生长界面的对流状态,使制备获得的单面生长石英晶体具有较大的尺寸、很低的杂质含量以及良好的透过率,其包裹体指标达到国家标准GB/T7895‑2008中的Ⅰa级、条纹指标达到国家标准GB/T7895‑2008中的1级和光学均匀性达到国家标准GB/T7895‑2008中的A级,达到目前国家标准中的顶尖水平。 | ||
搜索关键词: | 石英晶体 单面生长 生长 光学均匀性 对流状态 生长方向 包裹体 高压釜 光轴面 透过率 籽晶片 条纹 制备 | ||
【主权项】:
1.单面生长石英晶体的生长方法,首先清洗籽晶片(1)和石英石、配制去离子水及生长液备用、用去离子水清洗高压釜并用隔膜泵抽干;然后在清洗好的高压釜内放入装有石英石的原料筐,注入配置所得生长液和挂有籽晶片(1)的籽晶架(2),量好液面,将高压釜密封;之后启动控温系统,加热高压釜,进行石英晶体的单面生长,获得单面生长石英晶体;其特征在于:将籽晶片(1)悬挂在籽晶架(2)的方法为:首先于籽晶片(1)的Z方向一边衬垫防粘连箔(4),并令该方向正对L形遮挡板(3)的横面;还于籽晶片(1)的+X方向衬垫防粘连箔(4),并令该方向正对L形遮挡板(3)的立面;之后将籽晶片(1)、防粘连箔(4)和L形遮挡板(3)固定后横挂在籽晶架(2)上,并使籽晶片(1)的Z生长方向向下。
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