[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置以及压电设备

摘要

本发明涉及一种液体喷射头、液体喷射装置及压电设备。液体喷射头具有：流道形成基板(10)；保护基板(30)，其被接合于所述流道形成基板(10)的所述一面侧并具有流道(31)；流道部件(40)，其被接合于所述保护基板(30)的与所述流道形成基板(10)相反一侧；驱动电路(120)，其被安装于由流道形成基板(10)、保护基板(30)和流道部件(40)包围而形成的空间(34)内；填充剂(121)，其被填充于所述驱动电路(120)与所述流道形成基板(10)、以及驱动电路(120)与保护基板(30)之间；保护膜(200)，其被形成于从保护基板(30)的所述流道的内壁起、至保护基板(30)的与流道部件(40)接合的接合面中的至少与所述内壁的边界侧为止，所述保护膜(200)具有露出孔(201)，所述露出孔(201)使所述填充剂(121)的表面的至少一部分露出。

主权项

1.一种液体喷射头，其特征在于，具备：喷嘴板，其上形成有包含喷射液体的第一喷嘴的第一喷嘴列、和包含喷射液体第二喷嘴的第二喷嘴列；流道形成基板，其上形成有与所述第一喷嘴连通的第一压力产生室、和与所述第二喷嘴连通的第二压力产生室；振动板，其被形成于所述流道形成基板的一面侧；第一压电元件，其被设置于所述振动板上的与所述第一压力产生室相对应的位置上；第二压电元件，其被设置于所述振动板上的与所述第二压力产生室相对应的位置上；保护基板，其被接合于所述流道形成基板的所述一面侧并具有流道；流道部件，其被接合于所述保护基板的与所述流道形成基板相反一侧；驱动电路，其被安装于由所述流道形成基板、所述保护基板和所述流道部件包围而形成的空间内，且被安装于所述流道形成基板的所述第一压电元件与所述第二压电元件之间，并对所述第一压电元件和所述第二压电元件进行驱动；填充剂，其被填充于所述驱动电路与所述流道形成基板、以及所述驱动电路与所述保护基板之间；保护膜，其被形成于从所述保护基板的所述流道的内壁起、至所述保护基板的与所述流道部件接合的接合面中的至少与所述内壁的边界侧为止，所述保护膜具有露出孔，所述露出孔使所述填充剂的表面的至少一部分露出。