[发明专利]一种长钼管溅射靶材的制备方法有效

专利信息
申请号: 201811042186.1 申请日: 2018-09-07
公开(公告)号: CN108941584B 公开(公告)日: 2019-09-03
发明(设计)人: 李培林;文宏福 申请(专利权)人: 韶关市欧莱高新材料有限公司;东莞市欧莱溅射靶材有限公司
主分类号: B22F9/04 分类号: B22F9/04;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/15;B22F3/24;B22F5/12;C22C27/04
代理公司: 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 代理人: 吴静芝
地址: 512000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种长钼管溅射靶材的制备方法,其包括以下步骤:S1压制钼管坯:将混匀后的钼粉装入冷等静压模具的管形空腔中,在150‑200MPa下压制钼粉成管状,然后脱去冷等静压模具得到钼管坯,对钼管坯端头及外圆进行修整;S2烧结钼管坯:将钼管坯置于氢气环境中于1800‑2000℃烧结4‑10h,并修整烧结后的钼管坯;S3拼接长钼管:将若干根步骤S2所得的钼管坯纵向依次叠加在热等静压模具的管形空腔内,然后检查管形空腔的气密性,筛选出气密性合格的进行热等静压处理得到一根长钼管,所述长钼管包覆于热等静压模具中;S4校直长钼管:对包覆有长钼管的热等静压模具进行热校直处理,然后脱去模具得到长钼管溅射靶材。
搜索关键词: 钼管坯 钼管 热等静压 模具 溅射靶材 烧结 冷等静压模具 管形空腔 脱去 钼粉 修整 制备 压制 氢气环境 依次叠加 出气 检查管 气密性 热校直 包覆 端头 混匀 空腔 密性 拼接 外圆 校直 装入 筛选
【主权项】:
1.一种长钼管溅射靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1压制钼管坯:称取并混匀钼粉后,将钼粉装入冷等静压模具的管形空腔中,在冷等静压150‑200MPa下压制钼粉成管状,然后脱去冷等静压模具得到钼管坯,对钼管坯端头及外表面进行修整;S2烧结钼管坯:将修整后的钼管坯置于氢气环境中于1800‑2000℃烧结4‑10h,并修整烧结后的钼管坯的端头及内外表面;S3拼接长钼管:将若干根步骤S2所得的钼管坯纵向依次叠加在热等静压模具的管形空腔内,然后检查管形空腔中的气密性,筛选出气密性合格的空腔内包覆有若干根钼管坯的热等静压模具进行热等静压处理,得到一根长钼管,所述长钼管包覆于热等静压模具中;S4校直长钼管:检测包覆有长钼管的热等静压模具的弯曲位置,并对该弯曲位置进行校直处理,然后于真空环境中去应力退火;退火后脱去热等静压模具,并修整长钼管的端头,得到长钼管溅射靶材;其中,气密性合格的标准为管形空腔内实际真空度小于等于10‑3pa。
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