[发明专利]形状测定装置的控制方法有效
| 申请号： | 201811045406.6 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN109470194B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 野田孝 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;G05B15/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种形状测定装置的控制方法，使速度图案的加减速变更的定时与控制采样周期同步，从而避免产生控制偏差。基于根据预先获得的测定对象物的形状数据设定的移动路径的形状，生成用于沿移动路径移动的速度图案。判定速度图案的速度变更的定时是否与形状测定装置的控制采样周期同步。在速度图案的速度变更的定时与控制采样周期不同步的情况下，对速度图案进行修正使得速度图案的速度变更的定时与形状测定装置的控制采样周期同步。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测定 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形状测定装置的控制方法，所述形状测定装置使探头沿着测定对象物的表面移动来测定所述测定对象物的形状，所述形状测定装置的控制方法包括：基于根据预先获得的所述测定对象物的形状数据设定的移动路径的形状，生成用于使所述探头沿所述移动路径移动的速度图案；判定所述速度图案的速度变更的定时是否与所述形状测定装置的控制采样周期同步；并且在所述速度图案的速度变更的所述定时与所述控制采样周期不同步的情况下，对所述速度图案进行修正使得所述速度图案的速度变更的所述定时与所述形状测定装置的控制采样周期同步。
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