[发明专利]有源矩阵基板和多路分配电路

摘要

减小形成于有源矩阵基板的多路分配电路的TFT的尺寸。多路分配电路的各单位电路具有：至少n个TFT；以及n个分支配线，其连接到1个视频信号线，各TFT具有：氧化物半导体层；上部栅极电极，其隔着栅极绝缘层配置在氧化物半导体层上；以及第1电极和第2电极，还具备：第1层间绝缘层，其覆盖氧化物半导体层和上部栅极电极；以及第2层间绝缘层，其配置在第1层间绝缘层上，第1电极配置在第1层间绝缘层与第2层间绝缘层之间并且在形成于第1层间绝缘层的第1接触孔内与氧化物半导体层接触，第2电极配置在第2层间绝缘层上并且在形成于第1层间绝缘层和第2层间绝缘层的第2接触孔内与氧化物半导体层接触。

主权项

1.一种有源矩阵基板，具有：显示区域，其包含多个像素；以及非显示区域，其设置在上述显示区域的周边，具备：基板；多路分配电路，其配置在上述非显示区域，并且支撑于上述基板；以及多个源极总线和多个栅极总线，在上述显示区域中，上述多个源极总线在第1方向上延伸，上述多个栅极总线在与上述第1方向交叉的第2方向上延伸，上述有源矩阵基板的特征在于，上述多路分配电路具有多个单位电路，上述多个单位电路各自从多个视频信号线中的1个视频信号线向多个源极总线中的n个源极总线分配视频信号，其中，n为2以上的整数，上述多个单位电路各自具有：至少n个TFT；以及n个分支配线，其连接到上述1个视频信号线，上述至少n个TFT各自具有：氧化物半导体层；上部栅极电极，其隔着栅极绝缘层配置在上述氧化物半导体层上；以及第1电极和第2电极，其电连接到上述氧化物半导体层，上述第1电极和上述第2电极中的一方是电连接到上述n个源极总线中的1个源极总线的漏极电极，另一方是电连接到上述n个分支配线中的1个分支配线的源极电极，还具备：第1层间绝缘层，其覆盖上述氧化物半导体层和上述上部栅极电极；以及第2层间绝缘层，其配置在上述第1层间绝缘层上，上述第1电极配置在上述第1层间绝缘层与上述第2层间绝缘层之间，并且在形成于上述第1层间绝缘层的第1接触孔内与上述氧化物半导体层接触，上述第2电极配置在上述第2层间绝缘层上，并且在形成于上述第2层间绝缘层和上述第1层间绝缘层的第2接触孔内与上述氧化物半导体层接触。