[发明专利]缺陷检查装置、缺陷检查方法、圆偏振板或椭圆偏振板的制造方法及相位差板的制造方法

摘要

本发明提供高通用性的用于检查圆偏振板或椭圆偏振板的缺陷或者在圆偏振光或椭圆偏振光的生成中使用的相位差板的缺陷的缺陷检查装置及缺陷检查方法、及使用该缺陷检查方法的圆偏振板或椭圆偏振板的制造方法及相位差板的制造方法。缺陷检查装置具备：光照射部，其配置在圆偏振板或椭圆偏振板所具有的直线偏振板侧，向圆偏振板或椭圆偏振板的摄像区域照射检查光；反射构件，其在从圆偏振板或椭圆偏振板观察时配置在与光照射部相反的一侧，将从被照射了检查光的圆偏振板或椭圆偏振板输出的光向圆偏振板或椭圆偏振板侧反射；摄像部，其在从圆偏振板或椭圆偏振板观察时配置在与光照射部相同的一侧。

主权项

1.一种缺陷检查装置，其对具有直线偏振板和层叠于所述直线偏振板的相位差板的圆偏振板或椭圆偏振板的缺陷进行检查，所述缺陷检查装置的特征在于，具备：光照射部，其配置在所述圆偏振板或椭圆偏振板所具有的所述直线偏振板侧，向所述圆偏振板或椭圆偏振板的摄像区域照射检查光；反射构件，其在从所述圆偏振板或椭圆偏振板观察时配置在与所述光照射部相反的一侧，将从被照射了所述检查光的所述圆偏振板或椭圆偏振板输出的光向所述圆偏振板或椭圆偏振板侧反射；以及摄像部，其在从所述圆偏振板或椭圆偏振板观察时配置在与所述光照射部相同的一侧，对所述摄像区域进行拍摄。