[发明专利]激光抛光系统及方法有效
| 申请号： | 201811060748.5 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN109128511B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 李亚国;袁志刚;许乔;王度;金会良;耿锋;刘志超;欧阳升;王健;张清华 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B23K26/352 | 分类号： | B23K26/352;B23K26/03;B23K26/064;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 吴开磊 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请提供一种激光抛光系统及方法。所述系统包括控制单元、激光发射器、光束整形组件、移动平台及激光干涉仪。待抛光物件固定在移动平台上并由移动平台带动；光束整形组件设置在激光发射器的激光光路上，用于对激光进行光束整形，并将整形后的激光投射到待抛光物件的待抛光表面上进行抛光；控制单元与激光干涉仪电性连接，用于控制激光干涉以对待抛光表面进行抛光面形检测得到对应的面形检测数据；控制单元还分别与激光发射器、光束整形组件及移动平台及电性连接，用于根据面形检测数据对激光发射器、光束整形组件及移动平台进行控制，使待抛光物件达到目标抛光效果。所述系统可对待抛光物件进行高精度抛光处理，提高物件抛光成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 抛光 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光抛光系统，其特征在于，所述系统包括控制单元、激光发射器、光束整形组件、移动平台及激光干涉仪；待抛光物件固定在所述移动平台上，并由所述移动平台携带所述待抛光物件运动；所述激光发射器用于发射激光，所述光束整形组件设置在所述激光发射器的激光光路上，用于对所述激光发射器发射的激光进行光束整形，并将整形后的激光投射到所述待抛光物件的待抛光表面上进行激光抛光；所述控制单元与所述激光干涉仪电性连接，用于控制所述激光干涉仪对所述移动平台上的所述待抛光物件的待抛光表面进行抛光面形检测，得到对应的面形检测数据；所述控制单元还分别与所述激光发射器、所述光束整形组件及所述移动平台电性连接，用于根据来自所述激光干涉仪的面形检测数据对所述激光发射器、所述光束整形组件及所述移动平台各自的工作状态进行控制，以使所述待抛光物件上的待抛光表面达到目标抛光效果。
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