[发明专利]Mo-Nb合金薄膜蚀刻液组合物及利用其的显示装置用基板的制造方法有效
| 申请号： | 201811062832.0 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110016667B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 金童基;朴英哲;张晌勋 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26;G02F1/1343;G02F1/1362;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 杨黎峰;钟锦舜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及Mo‑Nb合金薄膜蚀刻液组合物及利用其的显示装置用基板的制造方法，所述蚀刻液组合物包含：40重量％至60重量％的磷酸；5重量％至10重量％的硝酸；7重量％至30重量％的乙酸；0.1重量％至2重量％的磷酸盐；以及15重量％至30重量％的水。 | ||
| 搜索关键词： | mo nb 合金 薄膜 蚀刻 组合 利用 显示装置 用基板 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于蚀刻由Mo‑Nb合金形成的单层膜和多层膜的蚀刻液组合物，相对于全部组合物的总重量，所述蚀刻液组合物包含：40重量％至60重量％的磷酸；5重量％至10重量％的硝酸；7重量％至30重量％的乙酸；0.1重量％至2重量％的磷酸盐；以及15重量％至30重量％的水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东友精细化工有限公司，未经东友精细化工有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811062832.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
