[发明专利]用于检查多个测量物体的材料属性的设备在审
| 申请号： | 201811066403.0 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN109507190A | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 安泰兴;金英德;朴相吉;朴峻范;岩阳一郎;田炳焕 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邵亚丽 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种检查设备包括光源。第一测量单元被配置为接收来自光源的光并将其引导到第一测量物体。第二测量单元被配置为接收来自光源的光并将其引导到第二测量物体。检查单元被配置为接收从第一测量单元提供的第一光信号并且使用第一光信号检查第一测量物体，并且接收从第二测量单元提供的第二光信号并且使用第二光信号检查第二测量物体。测量位置选择单元被配置为通过调整反射镜的角度来交替地启用两个测量单元的检查。 | ||
| 搜索关键词： | 第二测量 第一测量 光源 信号检查 配置 材料属性 测量单元 测量位置 检查单元 检查设备 选择单元 反射镜 测量 检查 | ||
【主权项】：
1.一种检查设备，包括：产生第一光的光源；第一测量单元，被配置为接收来自所述光源的第一光并将第一光引导到第一测量物体；第二测量单元，被配置为接收来自所述光源的第一光并将第一光引导到与第一测量物体不同的第二测量物体；检查单元，被配置为接收沿着第一光学路径从第一测量单元提供的第一光信号并使用第一光信号检查第一测量物体，并且接收沿着与第一光学路径不同的第二光学路径从第二测量单元提供的第二光信号并使用第二光信号检查第二测量物体；以及测量位置选择单元，被配置为通过调整反射镜的角度来交替地启用第一光学路径和第二光学路径。
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