[发明专利]远程等离子源的调整装置及远程等离子源清洗系统有效
| 申请号： | 201811080975.4 | 申请日： | 2018-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN110899271B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 魏景峰;荣延栋 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种远程等离子源的调整装置，设置在远程等离子源与反应腔室之间；调整装置包括固定支架和至少三个调整组件，其中，固定支架设置在反应腔室的顶部；每个调整组件分别与远程等离子源和固定支架连接，并且每个调整组件用于调节远程等离子源与该调整组件连接位置处的高度。本发明提供的远程等离子源的调整装置能够将远程等离子源调整至水平位置，使密封圈压缩量均匀，避免清洗气体泄漏，且便于对远程等离子源的维护。 | ||
| 搜索关键词： | 远程 离子源 调整 装置 清洗 系统 | ||
【主权项】：
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