[发明专利]一种真空镀膜机有效
| 申请号： | 201811085077.8 | 申请日： | 2018-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN109161866B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;陈思 | 申请（专利权）人： | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 周克佑 |
| 地址： | 523820 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜机，其内设有镀膜室，在镀膜室内可转动地安装有工件转架，真空镀膜机还包括循环水冷系统，循环水冷系统设有冷却水流动管，冷却水流动管布置在工件转架内，可对工件转架上所装挂工件进行冷却，在工件转架的一端设有传动轴，传动轴穿出镀膜室并与安装在镀膜室外面的电机连接，在传动轴的外端安装有旋转水管接头，进出的冷却水流动管通过旋转水管接头与外部水源连接。本发明解决了不耐温工件连续镀膜时的温升问题，能对不耐温工件进行连续镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜机，其内设有镀膜室，在所述镀膜室内可转动地安装有工件转架，其特征是，所述真空镀膜机还包括循环水冷系统，所述循环水冷系统设有冷却水流动管，所述冷却水流动管布置在所述工件转架内，对所述工件转架进行冷却，在所述工件转架的一端设有传动轴，所述传动轴穿出所述镀膜室并与安装在镀膜室外面的电机连接，在所述传动轴的外端安装有旋转水管接头，进出的冷却水流动管通过所述旋转水管接头与外部水源连接。
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