[发明专利]一种柔性器件的制备方法及应用有效
申请号: | 201811094783.9 | 申请日: | 2018-09-19 |
公开(公告)号: | CN109216589B | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 夏建文;刘强;黄明起;陈元甫 | 申请(专利权)人: | 深圳市化讯半导体材料有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/54 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 巩克栋 |
地址: | 518101 广东省深圳市南山区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种柔性器件的制备方法及应用,所述制备方法包括如下步骤:(1)在透明基板上设置牺牲层,在牺牲层上设置柔性器件;(2)从透明基板侧经激光剥离实现牺牲层与柔性器件的分离,得到所述柔性器件;其中,所述牺牲层的制备原料包括基体树脂和感光助剂。本发明采用基体树脂和感光助剂作为牺牲层的制备原料,感光助剂具有感光基团,感光基团可以吸收光照能量使基体树脂的结构遭到破坏,进而使牺牲层失去粘结性,最终使柔性器件与牺牲层在室温下无应力分离,从而可以避免柔性器件在剥离过程中产生的轻微变形等不利影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 器件 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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