[发明专利]磨针台驱动结构及全自动探针台在审
| 申请号： | 201811099677.X | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN109262412A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 韦日文;雷迪;林生财 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/16 | 分类号： | B24B19/16;B24B41/06;B24B47/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体检测领域，针对影响检测作业效率的问题，提供了一种磨针台驱动结构该技术方案如下：包括滑动连接于磨针台上的联动件、驱动联动件滑动的联动驱动件；一种全自动探针台，包括外壳、探针、基座，基座上滑动连接有主支架，主支架上滑动连接有副支架，副支架沿竖直方向滑动连接有工作台，基座设有驱动主支架滑动的主驱动件，主支架上设有驱动副支架滑动的副驱动件，副支架上设有驱动工作台升降以使工作台与探针抵接或分离的竖直驱动件，副支架上沿竖直方向滑动连接有磨针台，磨针台设有磨针台驱动结构。无需拆卸探针以及人工打磨探针，使得探针的维护作业效率较高，进而使得检测作业的持续性得到保证，提高了检测作业的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 磨针 探针 滑动连接 副支架 驱动结构 滑动 主支架 竖直 驱动 联动件 驱动件 工作台 半导体检测 工作台升降 人工打磨 台本发明 维护作业 影响检测 作业效率 持续性 副驱动 探针台 主驱动 检测 抵接 联动 支架 拆卸 保证 | ||
【主权项】：
1.一种磨针台驱动结构，包括滑动连接于所述磨针台(4)上的联动件，所述联动件与全自动探针台的工作台(3)连接时跟随工作台(3)运动以联动，还包括驱动联动件滑动的联动驱动件。
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