[发明专利]光测量装置和光测量方法

摘要

本发明的光测量装置(1)包括照射部(10)、检测部(20)和处理部(30)。光源(11)在互不相同的照射期间输出选自3个峰值波长(λ₁～λ₃)中的任一个峰值波长的照射光(λ_n)。检测部(20)包含与照射光(λ₁～λ₃)一对一对应设置的光检测器(21₁～21₃)。处理部(30)具有共用地将从各光检测器(21_n)输出的检测信号作为模拟值输入的输入端子，被输入在光源(11)输出照射光(λ_n)的照射期间输入到输入端子的模拟值，将与该模拟值对应的数字值作为表示因该照射光(λ_n)的照射而在样品上产生的产生光的强度的值输出。由此，实现能够简便地测量在样品上产生的光的强度的装置和方法。

主权项

1.一种光测量装置，其为测量因对样品照射光而在该样品上产生的光的强度的装置，所述光测量装置的特征在于，包括：照射部，其包含输出选自多个峰值波长中的任一个峰值波长的照射光的光源，将从所述光源输出的各个峰值波长的照射光在互不相同的照射期间照射于所述样品；检测部，其包含与所述多个峰值波长一对一对应设置的多个光检测器，利用各光检测器接收因对应的峰值波长的照射光的照射而在所述样品上产生的产生光中的、在与所述照射光的照射方向不同的方向上发射的产生光，检测该接收的产生光的强度并输出检测信号；和处理部，其具有共用地将从所述多个光检测器分别输出的检测信号作为模拟值输入的输入端子，并且被输入在所述光源输出各个峰值波长的照射光的照射期间输入到所述输入端子的模拟值，将与该模拟值对应的数字值作为表示因该峰值波长的照射光的照射而在所述样品上产生的产生光的强度的值输出。