[发明专利]薄膜封装结构、薄膜封装方法及显示面板在审
| 申请号： | 201811103438.7 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN110429197A | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 史文;陈亚文;唐卫东 | 申请（专利权）人： | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L27/32;H01L21/77 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 林青中 |
| 地址： | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜封装结构、薄膜封装方法及显示面板。其中，薄膜封装结构，用于封装发光器件，包括：所述薄膜封装结构包括至少一层无机层，其中至少一所述无机层远离所述发光器件的表面经过氟等离子体处理形成表面疏水层。通过对最外层的无机层后采用氟等离子体对其表面进行处理，形成含氟的疏水层，降低薄膜封装结构对水的浸润性和氧气渗透率，提高整个封装结构的水氧阻隔效果，进而提高发光器件和显示面板的寿命，而且该方法操作简单、易控，具有较好的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜封装结构 显示面板 无机层 薄膜封装 发光器件 疏水层 氟等离子体处理 封装发光器件 氟等离子体 氧气渗透率 封装结构 水氧阻隔 浸润性 最外层 含氟 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜封装结构，用于封装发光器件，其特征在于，所述薄膜封装结构包括至少一层无机层，其中至少一所述无机层远离所述发光器件的表面经过氟等离子体处理形成表面疏水层。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
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