[发明专利]基板检查装置及基板检查方法有效
| 申请号： | 201811109766.8 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN109557448B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 椹木雅也 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市右京区西京极*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板检查装置以及基板检查方法。基板检查装置(1)是对形成有相互邻接并相向的配线(P1)、配线(P2)的基板(100)进行检查的基板检查装置，具备：第一探针(Pr)，用于接触配线(P1)的一端部；第二探针(Pr)，用于接触配线(P2)的一端部；电容测定部(31)，经由第一探针(Pr)及第二探针(Pr)，而将配线(P1)与配线(P2)之间的静电电容作为线间电容(Cx)来测定；以及第一判定部(22)，根据线间电容(Cx)来判定配线(P1)、配线(P2)中的至少一个配线的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查装置，对形成有相互邻接并相向的第一配线与第二配线的基板进行检查，所述基板检查装置的特征在于包括：第一探针，用于接触所述第一配线的一端部；第二探针，用于接触所述第二配线的一端部；电容测定部，经由所述第一探针及所述第二探针，而将所述第一配线与所述第二配线之间的静电电容作为线间电容来测定；以及第一判定部，根据所述线间电容，来判定所述第一配线与所述第二配线中的至少一个的配线的状态。
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