[发明专利]镀覆装置有效
| 申请号： | 201811109882.X | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN109537032B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 山崎岳;平尾智则;横山俊夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D5/02;C25D21/12 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 镀覆装置具有：镀覆槽；基板保持架，该基板保持架配置于所述镀覆槽，用于保持基板；阳极，该阳极用于在与所述基板之间产生电场；以及至少一个电场遮蔽体，该至少一个电场遮蔽体用于遮蔽所述基板保持架和所述电场的一部分或者全部，所述电场遮蔽体具有使所述基板与所述阳极之间的电场穿过的开口部，并且，所述电场遮蔽体构成为能够独立地调整所述开口部的第一方向上的开口尺寸以及第二方向上的开口尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 镀覆 装置 | ||
【主权项】：
1.一种镀覆装置，其特征在于，具有：镀覆槽；基板保持架，该基板保持架配置于所述镀覆槽，用于保持基板；阳极，该阳极与所述基板保持架对置配置；以及至少一个电场遮蔽体，该电场遮蔽体用于遮蔽从所述阳极朝向所述基板的电场的一部分，所述电场遮蔽体具有使所述基板与所述阳极之间的电场通过的开口部，并且，所述电场遮蔽体构成为能够独立地调整所述开口部的第一方向上的开口尺寸以及第二方向上的开口尺寸。
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