[发明专利]一种高温扩散炉体在审
| 申请号： | 201811112530.X | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN109023530A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 薛慧敏;胡新军;梁晶晶 | 申请（专利权）人： | 胡新军 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B31/16;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 243000 安徽省马*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高温扩散炉体，炉体包括炉管和保温层，炉管安装在保温层内，炉管端部设置炉盖，炉管尾部设有进气口和排气口，进气口处安装进气法兰，进气法兰上安装进气管，排气口安装排气法兰，排气法兰上安装排气管，炉管内部安装由匀气组件，本发明结构设计新颖，保温效果好，而且炉管内部能够实现均匀进气和排气，提高了扩散效果，进一步提高了硅片的扩散质量。 | ||
| 搜索关键词： | 炉管 进气口 高温扩散炉 进气法兰 排气法兰 保温层 排气口 扩散 保温效果 炉管尾部 内部安装 进气管 排气管 硅片 进气 炉盖 炉体 排气 匀气 | ||
【主权项】：
1.一种高温扩散炉体，炉体包括炉管（1）和保温层（2），其特征在于：所述炉管（1）安装在保温层（2）内，所述炉管（1）端部设置炉盖（3），所述炉管（3）尾部设有进气口和排气口，所述进气口处安装进气法兰（4），所述进气法兰（4）上安装进气管（5），所述排气口安装排气法兰（6），所述排气法兰（6）上安装排气管（7），所述炉管（1）内部安装由匀气组件（8）。
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