[发明专利]一种热法电子级磷酸脱砷方法在审
| 申请号： | 201811115772.4 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN108910850A | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 李少平;杜林;王书萍;姜飞;贺兆波;张庭;冯凯;尹印 | 申请（专利权）人： | 湖北兴福电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B25/238 | 分类号： | C01B25/238 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443007 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热法电子级磷酸脱砷方法，所述脱砷方法为：硫化钠溶液储罐中，加热后通氮气至储罐中无空气，加入磷酸进行反应；通过循环泵将磷酸打入脱砷塔，将生成的H2S通入脱砷塔中；将脱砷塔内反应充分的磷酸经过滤器后，经高纯氮气脱H2S气体进入磷酸储槽；吹脱出的多余H2S气体用碱液吸收。脱H2S气体后的磷酸经保安过滤器后进入磷酸储槽，砷含量可低至10 ppb以下；吹脱出的多余H2S气体用碱液吸收，避免环境污染。通过该方法脱砷的磷酸可达行业标准，应用到大规模集成电路行业。 | ||
| 搜索关键词： | 磷酸 脱砷 脱砷塔 电子级磷酸 碱液吸收 磷酸储槽 脱出 储罐 热法 大规模集成电路 保安过滤器 硫化钠溶液 高纯氮气 行业标准 通氮气 循环泵 加热 应用 | ||
【主权项】：
1.一种热法电子级磷酸脱砷方法，其特征在于，其脱砷步骤如下：（1）向硫化钠溶液储罐中，加热后通氮气至储罐中无空气，加入磷酸进行反应；（2）通过循环泵将磷酸打入脱砷塔，将步骤（1）生成的H2S通入脱砷塔中；（3）将步骤（2）中脱砷塔内反应充分的磷酸经过滤器后，经高纯氮气脱H2S气体进入磷酸储槽；（4）将步骤（3）中吹脱出的多余H2S气体用碱液吸收。
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