[发明专利]化学机械平坦化工具和形成化学机械平坦化膜的方法有效
| 申请号： | 201811122514.9 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109623630B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 陈政炳;李仁铎;彭升泰;赖宗龙;谢子逸;张建玮 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 在一些实施例中，本发明在一些实施例中涉及形成CMP膜的方法。该方法通过在膜模具内的腔内提供可延展材料来实施。该腔具有中心区域和围绕中心区域的外围区域。固化腔内的可延展材料以形成膜。通过将膜模具的中心区域内的可延展材料加热至第一温度并且将膜模具的外围区域内的可延展材料加热至大于第一温度的第二温度来实施固化可延展材料。本发明的实施例涉及化学机械平坦化工具和形成化学机械平坦化膜的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 平坦 化工 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形成化学机械平坦化(CMP)膜的方法，包括：在膜模具中的腔内提供可延展材料，其中，所述腔包括中心区域和围绕所述中心区域的外围区域；固化所述可延展材料以形成膜，其中，固化所述可延展材料包括：将所述膜模具的中心区域内的所述可延展材料加热至第一温度；以及将所述膜模具的外围区域内的所述可延展材料加热至大于所述第一温度的第二温度。
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