[发明专利]错误检测方法及制造设施有效
| 申请号： | 201811126286.2 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN110542451B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 黄俊荣;徐永璘;徐光宏;陈韦志;王仁地;刘志鋐 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/00 | 分类号： | G01D21/00;G01D18/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开一实施例提供一种错误检测方法及制造设施，该错误检测方法适用于一半导体制造厂中。上述错误检测方法包括沿一轨道传送一测试载车至一检验区域。上述错误检测方法还包括当测试载车位于一检验区域内时，通过放置于测试载车上的一换能器投射一测试信号至一检验板，其中检验板以及测试载车沿一平行于轨道的一轴线配置。上述错误检测方法还包括对投射于检验板的测试信号进行一分析。另外，上述错误检测方法包括根据分析的结果检测出一异常时发出一警示警报。 | ||
| 搜索关键词： | 错误 检测 方法 制造 设施 | ||
【主权项】：
1.一种错误检测方法，适用于一半导体制造厂中，该错误检测方法包括：/n沿一轨道传送一测试载车至一检验区域；/n当该测试载车位于一检验区域内时，通过放置于该测试载车上的一换能器投射一测试信号至一检验板，其中该检验板以及该测试载车沿一平行于该轨道的一轴线配置；/n对投射于该检验板的该测试信号进行一分析；以及/n根据该分析的结果检测出一异常时发出一警示警报。/n
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