[发明专利]一种EUV光刻胶及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 201811126499.5 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109164685B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 邓海;钱晓飞;杨振宇 | 申请（专利权）人： | 珠海雅天科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 俞梁清 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市横琴新区环*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种EUV光刻胶及其制备方法与应用，包括聚合物、光产酸剂、淬灭剂、含氟表面活性剂和溶剂，所述聚合物的主链中含有A、B或C三种结构单元中的一种或一种以上： |
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| 搜索关键词： | 一种 euv 光刻 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种EUV光刻胶，其特征在于：包括聚合物、光产酸剂、淬灭剂、含氟表面活性剂和溶剂，所述聚合物的主链中含有A、B或C三种结构单元中的一种或一种以上：![]()
其中，所述A1、B1、B2、C1为无或相互独立的一个或多个取代基。
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