[发明专利]对焦补偿的方法及其设备在审
| 申请号： | 201811129778.7 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN108965735A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 桂宇畅 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H04N5/235 | 分类号： | H04N5/235;H04N5/232 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种对焦补偿的方法及其设备，包含以下步骤：(S11)提供一曝光机镜组，具有一焦点；(S12)提供一待测物，对所述待测物以多个不同的对焦条件对多个线段的一轴线方向上的多个点进行量测多个线宽，以得到多个量测值，将所述多个量测值形成至少一线宽曲线；以及(S13)依照所述至少一线宽曲线对所述曝光机镜组的一对焦作业进行补正。本发明通过对产品量测线宽，并反馈所述曝光机的对焦情况，再经过对曝光机对焦的补正，以达到改善曝光机对焦的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光机 对焦 量测 对焦补偿 待测物 补正 镜组 线段 对焦条件 轴线方向 产品量 测线 线宽 反馈 焦点 | ||
【主权项】：
1.一种对焦补偿的方法，其特征在于：所述对焦补偿的方法包含步骤：(S11)提供一曝光机镜组，具有一焦点；(S12)提供一待测物，对所述待测物以多个不同的对焦条件对多个线段的一轴线方向上的多个点进行量测多个线宽，以得到多个量测值，将所述多个量测值形成至少一线宽曲线；以及(S13)依照所述至少一线宽曲线对所述曝光机镜组的一对焦作业进行补正。
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