[发明专利]单件式处理配件屏蔽件有效
| 申请号： | 201811141503.5 | 申请日： | 2015-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN109585251B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 希兰库玛·萨万戴亚;瑞安·汉森;如晓·安 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在此提供处理配件屏蔽件和含有处理配件屏蔽件的处理腔室的实施方式。在一些实施方式中，单件式处理配件屏蔽件包括：圆柱形主体，所述圆柱形主体具有上部和下部；热传递通道，所述热传递通道延伸通过上部；和盖环区段，所述盖环区段从下部径向向内延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 单件式 处理 配件 屏蔽 | ||
【主权项】：
1.一种单件式处理配件屏蔽件，包括：圆柱形主体，所述圆柱形主体具有上部和下部，所述上部包括适配器区段，所述适配器区段径向向外延伸并具有安置表面和密封表面，所述安置表面用以将所述单件式处理配件屏蔽件支撑在腔室的壁上，当所述单件式处理配件屏蔽件被放置在所述腔室中时，腔室盖安置在所述密封表面上，以密封所述腔室的内侧容积；热传递通道，所述热传递通道延伸通过所述上部的所述适配器区段；和盖环区段，所述盖环区段从所述下部向下且径向向内延伸。
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