[发明专利]半导体产品良率分析系统及分析方法和计算机存储介质有效
| 申请号： | 201811146276.5 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN110955863B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/18 | 分类号： | G06F17/18 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体产品良率分析系统及分析方法和计算机存储介质，能够通过对产品在制程过程中发生的机台的异常或制程工艺的改进变更或量测数据超过工艺规格等特殊情况进行记录，还能够自动对关键性的货批进行备注并加以统计分析,从而在缩短良率分析时间的同时提高良率分析效率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 产品 分析 系统 方法 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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