[发明专利]一种彩膜基板及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201811147938.0 申请日: 2018-09-29
公开(公告)号: CN109188759B 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 金潘;焦亚萍;祝宏勋;王志军 申请(专利权)人: 南京京东方显示技术有限公司
主分类号: G02F1/1335 分类号: G02F1/1335
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静
地址: 210033 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提出一种彩膜基板及其制造方法,彩膜基板采用彩膜光罩共用的方法形成,通过共用色层光罩可以分别曝光制得黑色矩阵和色阻层,其中,黑色矩阵为正性光阻,色阻层为负性光阻。本发明提出共用色层光罩的彩膜制作思路,有效的简化了彩膜制程,提高了生产效率,节省了生产成本。
搜索关键词: 一种 彩膜基板 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种彩膜基板的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:提供进行曝光的光罩S2:在基板上涂覆一层黑色矩阵的正性光阻,采用所述光罩经过n次曝光之后再显影、烘烤制作出黑色矩阵,其中n为每个像素单元的子像素的数量;S3:在步骤S2制作的基板上采用所述光罩形成色阻层,其中,n=3或n=4。
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