[发明专利]薄膜晶体管、栅极驱动电路和显示面板有效
申请号: | 201811149006.X | 申请日: | 2018-09-29 |
公开(公告)号: | CN109309100B | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 刘凤娟;韩影 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 刘薇;牛南辉 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明的实施例公开了薄膜晶体管、栅极驱动电路和显示面板。该薄膜晶体管包括:衬底基板,设置在衬底基板上的梳齿形状的栅极、有源层、位于栅极和有源层之间的栅极绝缘层、以及梳齿形状的源电极和漏电极。源电极的第一齿部和漏电极的第二齿部沿第一方向交替设置,并且在衬底基板上的正投影与有源层分别至少部分重叠。栅极的第三齿部位于邻近的第一齿部和第二齿部之间。有源层与第三齿部在衬底基板上的正投影相交的区域为第一相交部。第一齿部、第二齿部、第三齿部以及有源层形成多个并联的子薄膜晶体管。多个子薄膜晶体管中在中心位置处的至少一个中心子薄膜晶体管的第一相交部在第一方向上的第一尺寸与该第一相交部在第二方向上的第二尺寸的比值最大,其中,第二方向与第一方向垂直。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 栅极 驱动 电路 显示 面板 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜晶体管,包括:衬底基板,设置于所述衬底基板上的梳齿形状的栅极、有源层、位于所述栅极和有源层之间的栅极绝缘层、以及梳齿形状的源电极和漏电极,其中,所述源电极的第一齿部和所述漏电极的第二齿部沿第一方向交替设置,并且在所述衬底基板上的正投影与所述有源层分别至少部分重叠;所述栅极的第三齿部位于邻近的第一齿部和第二齿部之间;所述有源层与所述第三齿部在所述衬底基板上的正投影相交的区域为第一相交部;所述第一齿部、所述第二齿部、所述第三齿部以及所述有源层形成多个并联的子薄膜晶体管;所述多个子薄膜晶体管中在中心位置处的至少一个中心子薄膜晶体管的第一相交部在所述第一方向上的第一尺寸与所述第一相交部在第二方向上的第二尺寸的比值最大,其中所述第二方向与所述第一方向垂直。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的