[发明专利]一种薄膜蒸镀装置

摘要

本发明涉及镀膜加工设备技术领域，具体的说是一种薄膜蒸镀装置，包括燃烧炉、加工箱、封堵机构、液压杆、真空泵、流通板、工件安装机构以及夹持机构，本发明安装板与安装座之间为可拆卸连接，并且每个安装板的底面均呈矩形阵列分布有夹持机构，每个夹持机构都对应固定有基板，使得单次加工的基板数量更多，并且在上一组基板在加工时，工作人员可将下几组基板夹持固定好，当上一组加工完毕后，可立即将工件拆卸并更换上新的，操作简便；在流通板向上运动的过程中，流通板能够始终对流通板的底部进行封堵，从而保证流通板的底部区域始终处于真空状态，从而减少加工箱内的空气进入量，减少后期真空泵的工作量。

主权项

1.一种薄膜蒸镀装置，其特征在于：包括燃烧炉(1)、加工箱(2)、封堵机构(3)、液压杆(4)、真空泵(5)、流通板(6)、工件安装机构(8)以及夹持机构(9)，所述燃烧炉(1)的顶部设有所述加工箱(2)，所述加工箱(2)的顶部两侧壁设有所述液压杆(4)，所述液压杆(4)的端部连接所述封堵机构(3)；所述封堵机构(3)用以对所述加工箱(2)的顶端进行封堵控制，所述液压杆(4)用以带动所述封堵机构(3)上下运动；所述封堵机构(3)的侧壁连接有所述工件安装机构(8)，所述工件安装机构(8)的底面设有所述夹持机构(9)，所述夹持机构(9)用以固定工件；所述封堵机构(3)的底端转动连接所述流通板(6)，所述流通板(6)用以方便蒸汽流通；所述燃烧炉(1)的侧壁与所述真空泵(5)连通。