[发明专利]一种石墨基座

摘要

本发明公开了一种石墨基座，属于半导体技术领域。所述石墨基座上设有用于容纳衬底的多个口袋，每个所述口袋的边缘设有用于将所述衬底悬置在所述口袋内的凸块，所述凸块围成的区域内与所述石墨基座的中心之间的距离最远的部分设有凹槽。本发明通过在凸块围成的区域内与石墨基座的中心之间的距离最远的部分设有凹槽，增大这个部分与上面悬置的衬底之间的距离，从而减小这个部分传导给衬底的热量，平衡这个部分上面悬置的衬底与口袋的侧壁密切接触所升高的温度，均衡外延片各个区域的温度，使外延片各个区域的发光波长一致，提高外延片的片内均匀性和边缘良率。

主权项

1.一种石墨基座，所述石墨基座上设有用于容纳衬底的多个口袋，每个所述口袋的边缘设有用于将所述衬底悬置在所述口袋内的凸块，其特征在于，所述凸块围成的区域内与所述石墨基座的中心之间的距离最远的部分设有凹槽。