[发明专利]一种气压驱动精密微泵

摘要

本发明涉及一种气压驱动精密微泵，包括气压模块，包括气囊；单向阀组，包括第一单向阀和第二单向阀，第一单向阀的入口通向外界大气，出口通向气囊，第二单向阀的入口通向气囊，出口通向蓄液模块；蓄液模块，包括空腔和蓄液池，空腔与蓄液池之间通过第一弹性膜片间隔，空腔为封闭腔体，蓄液池通过第二单向阀与气囊连接；调流模块，包括第一流道和第二流道，第一流道和第二流道均连通蓄液池，第一流道出口封闭，第二流道出口通向调流模块外，第一流道和第二流道通过第二弹性膜片间隔。该微泵具有启动压力低、流体输运稳定、体积小巧易集成等优势，满足微流体的稳定驱动与控制需求。

主权项

1.一种气压驱动精密微泵，其特征在于：包括气压模块，包括气囊；单向阀组，包括第一单向阀和第二单向阀，所述第一单向阀的入口通向外界大气，出口通向所述气囊，所述第二单向阀的入口通向气囊，出口通向蓄液模块；蓄液模块，包括空腔和蓄液池，所述空腔与蓄液池之间通过第一弹性膜片间隔，所述空腔为封闭腔体，所述蓄液池通过第二单向阀与所述气囊连接；调流模块，包括第一流道和第二流道，所述第一流道和第二流道均连通所述蓄液池，所述第一流道出口封闭，所述第二流道出口通向调流模块外，所述第一流道和所述第二流道通过第二弹性膜片间隔。